Plasma-Oberflächenreinigungssystem Pico

halbautomatischmedizinisch

Die Pico Plasmaanlagen können in verschiedenen Varianten wie in einem Baukastensystem kombiniert werden. Im Folgenden erhalten Sie einen Überblick über die gängigsten Optionen in Verbindung mit den Pico Plasmasystemen. Die Pico Systeme kommen vorwiegend in folgenden Bereichen zum Einsatz: Analytik (REM, TEM) Archäologie Automotive Forschungs- und Entwicklungsabteilungen Halbleitertechnik Kleinserienfertigung Kunststofftechnik Medizintechnik Mikrosystemtechnik Sensorik Sterilisieren Textiltechnik Grundausstattung Die Gehäusegrößen variieren je nach Komponenten / Optionen Kammervolumen: je nach Version 4 - 15 Liter Spannungsversorgung: 230 V für Tischgerät 400 V / 3 Phasen für Standgerät Gaszufuhr Nadelventile Mass-Flow-Controller (MFCs) Vakuumkammern Edelstahl rund mit Deckel(ca. ∅ 150 mm, L 320 mm oder L 600 mm ) oder Edelstahl rechteckig, Tür mit Scharnier(ca. B 160 mm x H 160 mm x T 325 mm oder 600 mm) Aluminium rechteckig, Tür mit Scharnier(ca. ∅ 160 mm x 160 mm, L 325 mm oder L 600 mm) Quarzglas (UHP) rund mit Deckel oder Tür mit Scharnier(ca. ∅ 130 mm, L 300 mm oder L 600 mm) Borosilikatglas (UHP) rund mit Deckel oder Tür mit Scharnier(ca. ∅ 130 mm, L 300 mm oder L 600 mm) Beladung Warenträger (Option: wassergekühlt), Quarzglasboote, Pulverdrehtrommel, Schüttgutdrehtrommel, Aluminiumblech, Edelstahlblech, Borosilikatglas, Quarzglas Elektroden Ein- oder Mehretagen RIE