Der Turbo II™ Vaporizer 2855PE von MSP wurde für hochpräzise mikroelektronische Anwendungen entwickelt, die mittlere bis hohe Dampfdurchsätze erfordern. Basierend auf den praxiserprobten, äußerst zuverlässigen und wartungsarmen MSP Turbo™ Vaporizern liefert der neue 2855PE die doppelte Dampfleistung bei halb so großer Grundfläche.
Produkt Details
Abmessungen (HxBxT) - 236 mm x 84 mm x 142 mm (9.3'' x 3.3'' x 5.6'')
Gewicht - 5,2 kg (11,5 lb)
Anschlüsse (am Gerät) -
Trägergaseinlass - 1/4 Zoll. VCR-Innengewinde mit geteilter Mutter
Flüssigkeitseinlass - 1/8 Zoll. VCR-Innengewinde
Dampfauslass - 1/4 Zoll. VCR-Innengewinde
Druckluft - 4 mm Steckrohrverschraubung
Benetzte Teile - Edelstahl 316, PEEK, Elgiloy®, Nickel, PCTFE
Leckdichtigkeit - ≤ 1x 10-8 Pa-m3/s Helium
Leistungsanforderungen für das Heizgerät1 - 208 VAC, 60 Hz, 900 W
Trägergas - Inertes Gas empfohlen
Maximaler Trägergasdurchfluss1 - 10 Standardliter/min N2 @ 50 psig
Maximaler Flüssigkeitsdurchfluss2 - 40 g/min (TEOS oder gleichwertig)
Systemdruckgrenze - 150 psig
Druckluft - 90 bis 110 psig
Temperaturbereich3 - 40°C bis 200°C
Temperatursensor - 2 Thermoelemente Typ K
Zubehör - Inklusive Netzkabel (3 m). AMP CPC, 4-poliger Stecker mit 3 fliegenden Leitungen am anderen Ende
Änderungen der technischen Daten ohne Vorankündigung vorbehalten.
1 Max Carrier Flow, Heizleistung (W) und Netzspannung sind werksseitig einstellbar, weitere Informationen finden Sie unter www.tsi.com/contact.
2 Der maximale Flüssigkeitsdurchfluss ist prozessabhängig. Die Spezifikation geht von einer Verdampfertemperatur von 200°C, einem maximalen Trägergasdurchfluss und einem Druck <50 Torr unmittelbar hinter dem Verdampfer aus.
3 Geeignete Entlüftung ist erforderlich.
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