Durchfluss-Controller Turbo™ 2950V

LaborHochpräzision

Speziell für hochmoderne mikroelektronische Anwendungen entwickelt, paaren sich die Turbo™ Liquid Flow Controllers 2950V mit den Turbo II™ Vaporizers von MSP, um unvergleichliche Leistungen bei der Lieferung von Flüssigkeitsquellen-Dampf für Halbleiter-Dünnschicht-Abscheidungsprozesse (einschließlich CVD, PECVD, ALD und MOCVD) zu bieten. Die Turbo™ Liquid Flow Controllers 2950V verfügen über einen maßgeschneiderten hochpräzisen, hochgeschwindigkeits-Durchflusssensor und eine sorgfältig entwickelte Durchflussregelungselektronik. Diese Komponenten bieten eine erstklassige Leistung, die für die fortschrittliche Halbleiterverarbeitung unerlässlich ist. - Präzisions-Durchflussregelung: Die 2950 LFCs enthalten Durchflusssensoren und Flüssigkeitsregelungselektronik zur Steuerung des Piezo-Ventils an den Turbo II™ Vaporizers von MSP. Für Verdampfer ohne integriertes Flüssigkeitsregelungs-Piezo-Ventil kann ein Turbo™ LFC der Serie 2950V verwendet werden. - Anwendungen: - Halbleiter-Dünnschicht-Abscheidungsprozesse - Chemische Gasphasenabscheidung (CVD) - Plasmaunterstützte chemische Gasphasenabscheidung (PECVD) - Atomlagenabscheidung (ALD) - Metallorganische chemische Gasphasenabscheidung (MOCVD) - Anwendungen mit Anforderungen an häufige Durchflussratenanpassungen - Merkmale und Vorteile: - Präzisions-Durchflussregelung und Einstellbarkeit - Außergewöhnliche Genauigkeit und Linearität - Ultraschnelle Reaktionszeit - Überlegene Wiederholbarkeit - Breite Durchflussbereichsoptionen - Technische Spezifikationen / Merkmale: - Maßgeschneiderter hochpräziser, hochgeschwindigkeits-Durchflusssensor - Sorgfältig entwickelte Durchflussregelungselektronik - Entwickelt für die fortschrittliche Halbleiterverarbeitung - Kompatibel mit MSP Turbo II™ Vaporizers - Mehrere Modellnummern für unterschiedliche Durchflussbereiche