Kondensationspartikelzähler NanoAir™ 10

für die Pharmaindustriefür ReinraumProzess

Der NanoAir™ Kondensationspartikelzähler (CPC) ist ein revolutionäres neues Produkt von Particle Measuring Systems (PMS). Er bietet die Empfindlichkeit eines CPC mit der Benutzerfreundlichkeit und Funktionalität eines herkömmlichen Reinraum-Partikelzählers. Er wurde für die Überwachung ultrareiner Umgebungen entwickelt und bietet eine Nachweisempfindlichkeit von 10 nm bei einem Probendurchsatz von 2,8 l/min (0,1 CFM). Die Größe des NanoAir ist 83 % kleiner als die von Wettbewerbsprodukten, so dass er überall in ultrareinen Umgebungen eingesetzt werden kann, auch in Halbleiterprozess-Tools und Equipment Front-End-Modulen (EFEM). Das innovative, zum Patent angemeldete System zur Handhabung von Arbeitsflüssigkeiten ist robust und effizient und ermöglicht einen Dauerbetrieb rund um die Uhr, 365 Tage im Jahr, ohne jegliche Wartung oder Benutzereingriffe. Dadurch werden Unterbrechungen bei der Probenahme und Datenerfassung sowie Ausfallzeiten des Geräts reduziert. Ein Begleitprodukt mit 10 Anschlüssen (ParticleSeeker™) unterstützt Anwendungen, bei denen mehrere Probenstellen in aufeinanderfolgenden oder programmierten Sequenzen überwacht werden müssen. Darüber hinaus ist der NanoAir mit dem HPD-III von PMS hochdruckgaskompatibel, und die Daten können mit der Anlagenüberwachungssoftware PMS Facility Net angezeigt, analysiert und gemeldet oder direkt an SCADA-Systeme von Drittanbietern oder Prozesswerkzeugeingänge übertragen werden. Produktdetails Die Nullzählung beträgt <1,5 Zählungen/m3 ohne Verwendung von Nullzählungs- Subtraktionsverfahren Zähleffizienz bei: 10 nm = 50% ± 20%, 15 nm = 100% ± 10%