Der Turbo II™ Vaporizer 2852PE von MSP wurde für hochpräzise mikroelektronische Anwendungen entwickelt, die niedrige bis mittlere Dampfdurchsätze erfordern. Basierend auf den praxiserprobten, äußerst zuverlässigen und wartungsarmen MSP Turbo™ Vaporizern bietet der neue 2852PE stabile Dampfkonzentrationen bei gleichzeitig sehr geringer Stellfläche. Der 2852PE verfügt außerdem über ein integriertes Durchflussregelventil, das eine extrem schnelle Reaktion auf die Durchflussrate ermöglicht.
Produkt-Details
Abmessungen (HxBxT) - 198 mm x 84 mm x 114 mm (7.8'' x 3.3'' x 4.5'')
Gewicht - 2,5 kg (5,6 lb)
Anschlüsse (am Gerät) -
Trägergaseinlass - 1/4 Zoll. VCR-Innengewinde mit geteilter Mutter
Flüssigkeitseinlass - 1/8 Zoll. VCR-Innengewinde
Dampfauslass - 1/4 Zoll. VCR-Innengewinde mit geteilter Mutter
Druckluft - 4 mm Steckrohrverschraubung
Medienberührte Teile - Edelstahl 316, PEEK, Elgiloy®, Nickel
Leckdichtigkeit - ≤ 1x 10-8 Pa-m3/s Helium
Leistungsanforderungen für das Heizgerät1 - 208 VAC, 60 Hz, 450 W
Trägergas - Inertgas empfohlen
Max. Trägergasdurchfluss1 - 2,0 Standardliter/min N2 @ 50 psig
Maximaler Flüssigkeitsdurchfluss2 - 7 g/min (TEOS oder gleichwertig)
Systemdruckgrenze - 150 psig
Druckluft - 90 bis 110 psig
Temperaturbereich3 - 40°C bis 180°C
Temperatursensor - 2 Thermoelemente vom Typ Ƙ
Zubehör - Inklusive Netzkabel (3 m). AMP CPC, 4-poliger Stecker mit 3 fliegenden Leitungen am anderen Ende
Änderungen der technischen Daten ohne Vorankündigung vorbehalten.
1 Maximale Durchflussmenge, Heizleistung (W) und Netzspannung sind werkseitig einstellbar. Weitere Informationen finden Sie unter www.tsi.com/contact.
2 Der maximale Flüssigkeitsdurchfluss ist prozessabhängig. Die Spezifikation geht von einer Verdampfertemperatur von 180°C, einem maximalen Trägergasdurchfluss und einem Druck <50 Torr unmittelbar hinter dem Verdampfer aus.
3 Geeignete Entlüftung ist erforderlich.
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