Der RX3000 ist ein einstufiger Druckregler mit freier Membrane, der speziell für hochreine und ultrahochreine Anwendungen entwickelt wurde. Sein einstufiges Design sorgt für eine hervorragende Durchflussstabilität, und seine gewindelose Konstruktion garantiert höchste Reinheit.
Die wichtigsten Vorteile
Einzigartiges gewindeloses Design in allen Versionen für ein höheres Reinheitsniveau
Optimierte Versorgungsdruckwirkung und hervorragende Durchflussstabilität
Lebensdauer gemäß CGA E4
Zusammenbau, Prüfung und Verpackung im Reinraum: Klasse ISO 4
Individuelle Seriennummer für vollständige Rückverfolgbarkeit
Elektropolierte Oberfläche gemäß SEMI F19 UHP Grade
UHP Material - Semi F20 Option verfügbar
Spezifikationen
Temperaturbereich -20°C bis +65°C (-4°F bis +149°F)
Reglertyp Freie Membrane
Berstdruck 300% des Betriebsdrucks
Prüfdruck 150% des Betriebsdrucks
Zertifizierte max. Helium-Innenleckrate (bei max. Druck) ≤ 1 x 10-9 mbar.l/s
Zertifizierte max. Heliumleckrate über den Sitz (bei max. Druck) - ≤ 1 x 10-8 mbar.l/s
Zertifizierte max. Helium-Leckrate nach außen ≤ 1 x 10-9 mbar.l/s
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