Der SolidSpec-3700i/3700i DUV verfügt über drei Detektoren, die den Bereich von Ultraviolett bis Nah-Infrarot abdecken.
Hohe Empfindlichkeit
Für die Messung von optischen Teilen ist eine hohe Genauigkeit für Transmission und Reflexion erforderlich.
Breiter Messwellenlängenbereich
Die Entwicklung einer präzisen Laserbearbeitung unter Verwendung eines ultravioletten Lasers, wie z.B. eines ArF-Excimer-Lasers, erhöht die Anforderungen an Transmission oder Reflektanz.
Große Probenkammer
Die SolidSpec-3700i & 3700i DUV haben große Probenkammern, die die Messung großer Proben ohne Probenzerstörung ermöglichen.
Der Photomultiplier-Röhrendetektor kann im Bereich von 700 nm bis 1000 nm auf den InGaAs-Detektor umgeschaltet werden (die voreingestellte Schaltwellenlänge beträgt 870 nm). Der InGaAs-Detektor kann auf einen PbS-Detektor im Bereich von 1600 nm bis 1800 nm umgeschaltet werden (die Standardschaltwellenlänge ist 1650 nm).
Für die Messung von optischen Teilen ist eine hohe Genauigkeit für Transmission und Reflexion erforderlich. Das SolidSpec-3700i/3700i DUV verfügt über drei Detektoren, die den Bereich von Ultraviolett bis Nah-Infrarot abdecken. Die Empfindlichkeit im nahen Infrarotbereich wird durch die Verwendung sowohl von InGaAs- als auch von gekühlten PbS-Detektoren deutlich erhöht. Hochpräzise und hochempfindliche Spektren sind vom Ultraviolett bis zum nahen Infrarot erhältlich.