TOC Analysator / für Reinstwasser TOC-1000e S

Bei der Halbleiterherstellung können selbst kleinste Spuren von Verunreinigungen die Produktqualität beeinträchtigen. Da die Miniaturisierung von Halbleitern weiter voranschreitet, wird die Minimierung organischer Verunreinigungen auf Spurenebene immer wichtiger, um eine hohe Produktausbeute zu gewährleisten. Infolgedessen werden die Qualitätsstandards für Reinstwasser in der Halbleiterfertigung immer strenger. Vor allem bei der Herstellung modernster Halbleiter ist der Bedarf an der Erkennung von Harnstoff und anderen schwer oxidierbaren Verbindungen gestiegen. Der Nachweis dieser Verbindungen war mit herkömmlichen Techniken schwierig. Der TOC-1000e S Online-TOC-Analysator für Reinstwasser wurde unter Berücksichtigung der Rückmeldungen von führenden Halbleiterherstellern entwickelt, um diese Herausforderungen zu meistern. Shimadzu ist seit mehr als 50 Jahren ein zuverlässiger Anbieter von TOC-Analysatoren und hat sich als Marktführer bei TOC-Instrumenten etabliert. Mit dieser jahrzehntelangen Erfahrung und fortschrittlichen Techniken liefert Shimadzu nun den TOC-1000e S Online-TOC-Analysator für Reinstwasser, der speziell für die strengen Anforderungen des modernen Halbleiterherstellungsprozesses entwickelt wurde. Merkmale Hervorragende Nachweisempfindlichkeit für schwer zu oxidierende Verbindungen Hohe Oxidationskapazität mit präziser Detektion von Harnstoff und anderen schwer oxidierbaren Verbindungen In der Halbleiterfertigung werden große Mengen an Reinstwasser aus verschiedenen Wasserquellen gewonnen. Während dieses Reinigungsprozesses müssen Verunreinigungen so weit wie möglich entfernt werden. Harnstoff ist aufgrund seiner schwer zu oxidierenden Eigenschaften besonders schwierig zu entfernen.