Klimakammer

thermostatischTemperaturFeuchte

Anwendungsbereich
Zirkuliert Reinluft und regelt die Feuchte, um Umgebungs‑Schwankungen am Aufstellort zu eliminieren. Geeignet für Anlagen, die Maß‑/Positionsstabilität und feinste Messungen erfordern. Kundenspezifische Ausführungen zur Anpassung an eingebaute Geräte möglich.

Kernmerkmale

• Reinheit: ISO‑Klasse 4 (Klasse 10).
• Temperaturregelungs‑Genauigkeit von ±0,1 °C bis ±0,005 °C.
• Auslegung anpassbar an integrierte Anlagenkomponenten.
• Mehrere Schutzschaltungen für erhöhte Sicherheit.
• Schafft eine hochreine, hochpräzise Temperatur‑ und Feuchteumgebung zur Vermeidung von Partikel-/Gasanhaftungen und temperaturbedingten Ausdehnungs-/Schrumpfungs‑Effekten.
• Feuchteregelung: Standard 40–60 % rF; optional Niedrigfeuchte 5–40 % rF.
• PID‑Regelung, ultra‑präzise Bauteile und strömungstechnisches System abgestimmt auf Temperaturgenauigkeit; Temperaturschwankungsfähigkeit 0,1 °C bis 0,002 °C je nach Ausführung.

Normen & Spezifikationen
C‑Typ (Gehäuseausführung)
• Ideal für Längenmessgeräte und Steppers.
• Besteht aus einer Klimaanlage mit Feuchteregelung, Gebläse und HEPA‑Filtern sowie einem Arbeitsraum (Kammer).
• Kammeroptionen: automatische Schieber (elektrisch oder pneumatisch), Sichtfenster zur Kontrolle eingebauter Geräte, Wartungstüren.
• Vertikale Schichtstrom‑Variante (HEPA an der Decke) und horizontale Schichtstrom‑Variante (HEPA seitlich) verfügbar.

B‑Typ (Offen)
• Für Projektionsaligner.
• Offene Ausführung mit integrierter, temperaturgeregelter Klimaanlage an der Rückseite einer vertikalen Laminar‑Flow‑Arbeitsbank.
• Geringe Aufstellfläche und einfache Mobilität durch optionale Rollen.

S‑Typ (Getrennt)
• Für Elektronenstrahl‑Schreibgeräte und Kleingeräte mit Prozessluftstrom ≤50 m/min geeignet.
• Getrennte Kanalführung isoliert Klimaanlage von der Kammer und reduziert Geräusche, Vibrationen und elektromagnetische Störeinflüsse.
• Zugriff auf interne Geräte von vorne, beiden Seiten und hinten möglich.
• Ebenfalls als Umlaufvariante mit kanalseitiger Verbindung von Ansaugung und Arbeitsraum erhältlich.

Hauptanwendungen
Halbleiterfertigung: Steppers (Reduktionsprojektionsbelichtung), Aligner, Elektronenstrahlschreiber
Displayfertigung: LCD, Plasmaanzeigen, FED
Präzisionsbearbeitung: Spiegelpolierer, Laserbearbeitungsmaschinen, Magnetkopf‑Fräsen, Präzisionslinsenpolierer, Spin Coater für CD‑R/DVD‑R
Präzisionsmessgeräte: Präzisionslängenmessgeräte, 2D/3D Messgeräte
Biologie: Präzisionsmikroskope, Umgang mit temperatur-/feuchteempfindlichen Proben

Technische Highlights

• Reinheit: ISO‑Klasse 4 (Klasse 10)
• Temperaturregelungs‑Genauigkeit: ±0,1 °C bis ±0,005 °C (konfigurierbar bis 0,1 °C–0,002 °C)
• Feuchteregelung: Standard 40–60 % rF; Niedrigfeuchteoption 5–40 % rF
• Regelungsart: PID
• Klimatisierung: Feuchteregelung, Gebläse, HEPA‑Filter (vertikale/horizontale Schichtströmung)
• Konfigurationstypen: C (Gehäuse), B (Offen), S (Getrennt)
• Sicherheit: mehrere Schutzschaltungen
• Kundenspezifische Optionen: Sichtfenster, automatische Schieber, Wartungstür, Mobilität auf Rollen