CFE-SEM-Mikroskop SU8600

für Forschungszwecke3Dbodenstehend

Das SU8600 läutet eine neue Ära ultrahochauflösender Rasterelektronenmikroskope mit Kaltfeldemission in der traditionsreichen EM-Produktpalette von Hitachi ein. Diese revolutionäre CFE-SEM-Plattform vereint vielseitige Bildgebungsfunktionen, Automatisierung, erhöhte Systemstabilität, effiziente Arbeitsabläufe für Anwender aller Erfahrungsstufen und vieles mehr. Merkmale Elektronenoptik und Detektoren Kerntechnologie (Kaltfeldemissions-Elektronenquelle) Seit der Realisierung der Kaltfeldemissions-Elektronenquelle (CFE) im Jahr 1972 hat Hitachi High Tech diese herausragende Technologie für die hochauflösende Elektronenbildgebung kontinuierlich weiterentwickelt. Die neuesten Entwicklungen im Bereich des Elektronenkanonen-Designs sorgen für eine höhere Beständigkeit der Elektronenstrahlbestrahlung im Bereich hoher Helligkeit. Das SU8600 ermöglicht eine Bildgebung mit hohem Signal-Rausch-Verhältnis selbst bei niedrigen Beschleunigungsspannungen und kann zudem für Langzeitmessungen und -analysen unter Bedingungen mit hoher Strombestrahlung eingesetzt werden, die mit anderen verfügbaren Kanonentechnologien konkurrieren können. Kerntechnologie (ExB) Eine effiziente Detektion von Sekundärelektronen (SE) ohne Änderung der Flugbahn der Primärelektronen ist möglich, indem oberhalb der Objektivlinse ein zueinander orthogonales elektrisches und magnetisches Feld (ExB-Feld) erzeugt wird. Diese Kerntechnologie ermöglicht die Erzeugung von Bildern mit ausgezeichnetem Signal-Rausch-Verhältnis und Kontrast, selbst bei den geringsten Sondenstrombedingungen, die häufig für die hochauflösende Bildgebung verwendet werden. Kerntechnologie (SuperExB) Die Weiterentwicklung des Designs zur Realisierung der SuperExB-Signalmischfunktion ist eine der charakteristischen Technologien von Hitachi High-Tech. Die Elektronen (Sekundärelektronen, SEs, oder rückgestreute Elektronen, BSEs)