Feldemissions-Rasterelektronen-Mikroskop SU7000

für ForschungszweckeBF-STEMDF-STEM

Ein modernes FE-SEM erfordert nicht nur hohe Leistung, sondern auch eine Vielzahl von Funktionen, darunter Großflächenbeobachtung, In-situ-Analyse, variabler Druck, hochauflösende Bildgebung bei niedrigen Beschleunigungsspannungen sowie die gleichzeitige Erfassung mehrerer Signale. Das SU7000 wurde entwickelt, um diesen und weiteren Anforderungen gerecht zu werden, indem es erweiterte Informationen für vielfältige Anforderungen im Bereich der Elektronenmikroskopie liefert. Merkmale Kernkonzept 1. Vielseitige Bildgebungsfähigkeiten Das SU7000 zeichnet sich durch die schnelle Erfassung mehrerer Signale aus und deckt damit ein breites Spektrum an SEM-Anforderungen ab – von der Bildgebung mit großem Sichtfeld bis hin zur Visualisierung von Strukturen im Subnanometerbereich und allem dazwischen. Durch den Einsatz neu entwickelter Elektronenoptik und Detektionssysteme ist die effiziente gleichzeitige Erfassung mehrerer Sekundärelektronen- und Rückstreuelektronensignale möglich. 2. Mehrkanal-Bildgebung Die Anzahl der am REM montierten Detektoren nimmt stetig zu, ebenso wie die Notwendigkeit, alle erfassten Informationen effektiv darzustellen. Das SU7000 ist in der Lage, bis zu 6 Signale gleichzeitig zu verarbeiten, darzustellen und zu speichern, um die Informationsgewinnung zu maximieren. 3. Große Vielfalt an Beobachtungstechniken Die Probenkammer und das Vakuumsystem sind optimiert für: Große Probengrößen Probenmanipulation entlang verschiedener Achsen Variable Druckbedingungen Kryogene Bedingungen In-situ-Beobachtung beim Erwärmen und Abkühlen 4. Mikroanalyse Die Elektronenkanone ist mit einem Schottky-Emitter ausgestattet, der einen Strahlstrom von bis zu 200 nA liefert, um verschiedenen Mikroanalyseanwendungen gerecht zu werden.