Prozessthermostat Semistat S 2400

kompaktohne Anzeigebeheizt

Produktbeschreibung
Point-of-use (POU) Temperaturregelsystem für die präzise Prozess-Temperaturführung in der Halbleiter- und Laborumgebung. Der POU-Betrieb kann den Energieverbrauch im Vergleich zu kompressor-basierten Systemen um bis zu 90 % reduzieren und ermöglicht eine platzsparende Montage nahe dem Prozess, einschließlich Unterbodenmontage zur Minimierung der Reinraumnutzung. Schnelle, stabile Regelung auf ±0,1 °C verbessert die Wafer-zu-Wafer-Homogenität und die Prozesswiederholbarkeit.

Eigenschaften

• Thermoelektrischer Prozessthermostat mit niedrigem Energieverbrauch
• Leiser, vibrationsarmer Betrieb durch kältemittelfreie Kühltechnologie
• Keine Filter oder DI-Komponenten im Kühlkreislauf erforderlich
• Anschluss zur Spülung mit sauberer Druckluft (CDA) zur Vermeidung von Kondensation
• Auslegung für perfluorierte Wärmeträgerflüssigkeiten
• Wassergekühltes System für stabile thermische Leistung
• Kompakte Bauweise und geringes Gewicht
• Extrem geringes Füllvolumen an Wärmeträgerflüssigkeit
• SEMI S2- und F47-konform

Betriebsbereich

• Min. Betriebstemperatur: -20 °C
• Max. Betriebstemperatur: 90 °C
• Temperaturstabilität: ±0,1 K

Kühlleistung (Tabelle)
Temperatur | Kühlleistung 50 Hz | Kühlleistung 60 Hz
20 °C | 2,45 kW | 2,45 kW
10 °C | 1,93 kW | 1,93 kW
0 °C | 1,4 kW | 1,4 kW
-10 °C | 0,88 kW | 0,88 kW
-20 °C | 0,35 kW | 0,35 kW

Zubehör (Beispiele)

• Füllkanister

Technische Daten

• Arbeitsbereich Temperatur: -20 ... 90 °C
• Temperaturstabilität: ±0,1 K
• Heizleistung min.: 6 kW
• Min. Füllvolumen: 1,25 L
• Max. Füllvolumen: 1,6 L
• Abmessungen (BxTxH): 116 x 300 x 560 mm
• Gewicht: 27 kg
• Nettogewicht: 26,81 kg
• Stromversorgung: Anschluss an PSC