Thermostat für Reinraum Semistat S 4400

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Produktbeschreibung
Point-of-use (POU) thermoelektrischer Prozess-Temperaturregler für präzise Prozess-Temperaturkontrolle in Halbleiter- und Reinraum-Anwendungen. Reduziert den Energieverbrauch um bis zu 90 % gegenüber kompressorbasierenden Systemen. Kompakte Bauform mit optionaler Unterflurinstallation zur Minimierung der Reinraumfläche. Schnelle und präzise Temperaturregelung auf ±0.1 °C verbessert die Wafer-zu-Wafer-Homogenität.

Eigenschaften

• Thermoelektrischer Prozessthermostat mit niedrigem Energieverbrauch
• Leiser, vibrationsarmer Betrieb dank kältemittelfreier Kühltechnologie
• Keine Filter oder DI-Komponenten erforderlich
• Anschluss für Spülung mit reinem, trockenem Luft (CDA) zur Vermeidung von Kondensation
• Einsatz perfluorierter Wärmeträgerflüssigkeiten
• Wassergekühlte Variante verfügbar
• Kompakte Gesamtgröße und geringes Gewicht
• Extrem geringes Volumen an Wärmeträgerflüssigkeit
• SEMI S2- und F47-konform

Arbeitsbereich

• Min. Arbeitstemperatur: -20 °C
• Max. Arbeitstemperatur: 90 °C
• Temperaturstabilität: 0.1 ± K

Technische Daten (gemäß DIN 12876)

• Temperaturarbeitsbereich: -20 ... 90 °C
• Temperaturstabilität: 0.1 ± K
• Heizleistung (min.): 12 kW
• Min. Füllmenge: 2.5 L
• Max. Füllmenge: 2.8 L
• Abmessungen (BxTxH): 194 x 300 x 560 mm
• Gewicht: 38 kg
• Stromversorgung: Anschluss an PSC
• Kühltechnologie: thermoelektrisch / kältemittelfrei (wassergekühlte Variante verfügbar)
• Konformität: SEMI S2 und F47

Kühlleistung
20 °C | 4.4 kW (50 Hz / 60 Hz)
10 °C | 3.5 kW (50 Hz / 60 Hz)
0 °C | 2.6 kW (50 Hz / 60 Hz)
-10 °C | 1.65 kW (50 Hz / 60 Hz)
-20 °C | 0.7 kW (50 Hz / 60 Hz)

Downloads (verfügbare Dokumente)
Datentabelle Semistat S 4400
Betriebsanleitung Semistat (Point of Use)
Broschüre: Semistat / Circulation and process thermostats

Technische Spezifikationen

• Handelsname / Modell: Semistat S 4400
• Artikel-Nr.: L003278
• Temperaturarbeitsbereich: -20 ... 90 °C
• Temperaturstabilität: 0.1 ± K
• Heizleistung (min.): 12 kW
• Füllmenge (min./max.): 2.5 L / 2.8 L
• Abmessungen (BxTxH): 194 x 300 x 560 mm
• Gewicht: 38 kg
• Kühltechnologie: thermoelektrisch / kältemittelfrei (auch wassergekühlte Variante)
• Konformität: SEMI S2 und F47